光刻机国产“心脏”跳动 ——雷声激光全固态DUV适配光刻机进程开启

光刻机的“心脏”是光源。长期以来，深紫外激光光源主流气体方案设备庞大、能量利用率有限，稳定性没有保障，光源也成为国产光刻机自主化的关键卡点。杭州雷声激光科技有限公司选择全固态深紫外（DUV）激光路线。2025年，该产品实现规模化稳定量产，能量利用率超46%，输出功率等指标经中国计量科学研究院认证，已交付国内多家半导体设备商、精密检测企业与科研机构。

图注：雷声激光研发人员正在无尘实验室内进行深紫外激光光源的调试与性能测试

近日，雷声激光正式入选民族品牌陪跑计划，该计划联合新华社，定向赋能专精特新硬核科技企业。计划设置严格准入标准，从技术实力、产业化成果、国产化贡献等维度筛选企业，依托国家级媒体矩阵，提供品牌传播、产业智库对接、上下游资源链接等中长期陪跑支持，助力硬核科技品牌成长。

继雷声激光登上新华社《科创先锋》报道后，该节目制片人、民族品牌陪跑计划品牌部主任陈明勇表示：“《科创先锋》聚焦实干科创企业，陪跑计划就是持续陪伴深耕底层技术的民族企业。我十分认可雷声激光的技术路线与产业化成果，半导体光源是关键赛道，雷声激光坚持全固态DUV路线、踏实推进工程化验证，取得100%国产化落地的亮眼成果，正是我们要扶持的科创样本。我们不只是一次报道，而是持续赋能，帮企业打通传播、产业对接与产学研通道，让国产硬核技术获得行业认可。”

雷声激光凭借全固态DUV光源的技术突破与100%国产化落地成果，成为半导体光源领域重点扶持的民族科技代表。

这条路，是数十年接续攻坚的成果。雷声激光科研团队自1958年深耕固体激光研究，历经四代科研人员传承积累。2015年团队在北京启动技术民用化探索，随后落地杭州，搭建无尘实验室，打通研发、工艺、制造全链条，从实验室样机走向稳定量产。

技术路线上，雷声激光以全固态晶体替代气体介质，光源结构更紧凑、运行更稳定，在光电转换效率、光束质量上形成差异化优势。晶体加工、光路设计、功率稳定性等难点反复打磨，2025年11月，相关技术通过杭州市科技局专家专项论证。

技术价值最终要在产线验证。目前雷声激光产品已应用于半导体精密加工、缺陷检测、新能源制造等领域。依托民族品牌陪跑计划与新华社的助力，企业成果获得更广泛展示，加速对接整机厂商、科研院所，推动全固态DUV光源产业化落地。

据悉，企业近期将发布光刻机适配深紫外光源的系统性技术进展，重点披露整机适配、长期稳定性、批次一致性、国产供应链保障等工程成果。业内表示，光刻机光源难点不仅在于“点亮”，而在于长期稳定运行、批次一致并通过整机验证。雷声激光的进展，为国产光刻机提供了一条不依赖进口气体介质、简化冷却系统的新方案，是已经量产落地、面向整机验证的工程化突破，并非实验室成果。

图注：雷声激光首席执行官刘天涯介绍企业技术转化与产业化布局

雷声激光首席执行官刘天涯谈到，高端激光产业靠长期积累和稳定交付立足。“光源是精密制造的底层工具，底层突破，下游产业才能向前走。”企业坚持零融资、不上市，扎根基础研究，拒绝资本浮躁，稳扎稳打践行科技报国初心。民族品牌陪跑计划也致力于发掘更多这样沉心攻关的企业，让坚守长期主义的国产科创获得更多支持。把论文写在产线上，把技术变成可交付产品，国产高端装备自主可控的进程虽然筚路蓝缕，但每一步都扎实有力。